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Boron nitride thin films

Lingua IngleseInglese
Libro In brossura
Libro Boron nitride thin films Jean Lorenzzi
Codice Libristo: 06816880
Casa editrice VDM Verlag, luglio 2010
In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. ma... Descrizione completa
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In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C and h-BN targets on two different substrates: Si3N4 ceramics with different surface finishing and Si(100) wafers. The influence of parameters such as substrate temperature and working gas composition ratio (N2 or Ar), on film thickness, deposition rate, cristallinity, residual stress, phase composition and hardness, were systematically investigated using techniques like SEM, XRD, FT-IR and nanohardness.

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Informazioni sul libro

Titolo completo Boron nitride thin films
Autore Jean Lorenzzi
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - In brossura
Data di pubblicazione 2010
Numero di pagine 96
EAN 9783639076356
ISBN 3639076354
Codice Libristo 06816880
Casa editrice VDM Verlag
Peso 150
Dimensioni 152 x 229 x 6

Categorie

Tecnologia, Ingegneria, Agricoltura, processi industriali > Tecnologia: argomenti di interesse generale > Ingegneria: generale
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