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Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070

Lingua IngleseInglese
Libro Rigido
Libro Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 B. J. PawlakM. L. PelazM. LawK. Surugo
Codice Libristo: 02060462
Casa editrice Materials Research Society, ottobre 2008
Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share... Descrizione completa
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Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share experimental results and physical models, discuss achievements and challenges, and identify key issues for future research in this field. The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.

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Informazioni sul libro

Titolo completo Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070
Autore B. J. PawlakM. L. PelazM. LawK. Surugo
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - Rigido
Data di pubblicazione 2008
Numero di pagine 319
EAN 9781605110400
ISBN 160511040X
Codice Libristo 02060462
Casa editrice Materials Research Society
Peso 568
Dimensioni 157 x 235 x 23

Categorie

Tecnologia, Ingegneria, Agricoltura, processi industriali > Ingegneria elettronica e delle comunicazioni > Ingegneria elettronica > Dispositivi e materiali elettronici
Tecnologia, Ingegneria, Agricoltura, processi industriali > Ingegneria meccanica e dei materiali > Scienza dei materiali
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