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Metal Based Thin Films for Electronics 2e
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Präparation, Charakterisierung und Eigenschaften komplexer, metallbasierter dünner Schichten: Dieses aktuelle Handbuch bespricht die wichtigsten Aspekte dieses Gebiets und wendet sich vorrangig an Spezialisten aus Forschung und (Mikroelektronik-)Industrie. Anschaulich wird gezeigt, wie sich Mikrostruktur, Tiefenprofile, elektronische Zustände und ähnliche Kenngrößen auf die Eigenschaften der Schicht auswirken. Mit Beiträgen renommierter Fachleute!This up-to-date handbook covers the main topics of preparation, characterization and properties of complex metal-based layer systems. The authors - an outstanding group of researchers - discuss advanced methods for structure, chemical and electronic state characterization with reference to the properties of thin functional layers, such as metallization and barrier layers for microelectronics, magnetoresistive layers for GMR and TMR, sensor and resistance layers. As such, the book addresses materials specialists in industry, especially in microelectronics, as well as scientists, and can also be recommended for advanced studies in materials science, analytics, surface and solid state science.
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