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Micro and Nano Fabrication

Tools and Processes

Lingua IngleseInglese
Libro Rigido
Libro Micro and Nano Fabrication Hans-Heinrich Gatzen
Codice Libristo: 05158609
Casa editrice Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, gennaio 2015
For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique pro... Descrizione completa
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For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique process technology.§This book provides a comprehensive insight into the tools required for fabricating MNEMS systems and the process technologies applied. Besides, it describes the enabling technologies which are necessary for successful production, i.e., wafer planarization and bonding, cleanroom, or gas and surface analysis.

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Informazioni sul libro

Titolo completo Micro and Nano Fabrication
Autore Hans-Heinrich Gatzen, Volker Saile, Juerg Leuthold
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - Rigido
Data di pubblicazione 2015
Numero di pagine 519
EAN 9783662443941
ISBN 3662443945
Codice Libristo 05158609
Casa editrice Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Peso 952
Dimensioni 164 x 240 x 31

Categorie

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