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Plasma Processing of Semiconductors

Lingua IngleseInglese
Libro Rigido
Libro Plasma Processing of Semiconductors P.F. Williams
Codice Libristo: 01395407
Casa editrice Springer Netherlands, novembre 1996
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etch... Descrizione completa
? points 665 b
271.79 €
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Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. §Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.

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Informazioni sul libro

Titolo completo Plasma Processing of Semiconductors
Autore P.F. Williams
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - Rigido
Data di pubblicazione 1997
Numero di pagine 613
EAN 9780792345671
ISBN 0792345673
Codice Libristo 01395407
Casa editrice Springer Netherlands
Peso 1052
Dimensioni 156 x 234 x 36

Categorie

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