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Precision Nanometrology

Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing

Lingua IngleseInglese
Libro In brossura
Libro Precision Nanometrology Wei Gao
Codice Libristo: 09113655
Casa editrice Springer London Ltd, novembre 2014
This book describes the latest optical sensors used to measure angle and displacement in precision n... Descrizione completa
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This book describes the latest optical sensors used to measure angle and displacement in precision nanometrology, and presents scanning-type measuring systems for use in surface forms and stage motions. Coverage includes algorithms and experimental data.

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Informazioni sul libro

Titolo completo Precision Nanometrology
Autore Wei Gao
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - In brossura
Data di pubblicazione 2014
Numero di pagine 354
EAN 9781447157434
ISBN 9781447157434
Codice Libristo 09113655
Casa editrice Springer London Ltd
Peso 569
Dimensioni 155 x 20 x 19

Categorie

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