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Predictive Simulation of Semiconductor Processing

Status and Challenges

Lingua IngleseInglese
Libro Rigido
Libro Predictive Simulation of Semiconductor Processing Jarek Dabrowski
Codice Libristo: 01558777
Casa editrice Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, maggio 2004
Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the s... Descrizione completa
? points 577 b
235.79 €
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Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.

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Informazioni sul libro

Titolo completo Predictive Simulation of Semiconductor Processing
Autore Jarek Dabrowski, Eicke R. Weber
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - Rigido
Data di pubblicazione 2004
Numero di pagine 490
EAN 9783540204817
ISBN 3540204814
Codice Libristo 01558777
Casa editrice Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Peso 1028
Dimensioni 155 x 235 x 36

Categorie

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