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CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155

Lingua IngleseInglese
Libro Rigido
Libro CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155 Alexander A. DemkovBill TaylorH. Rusty HarrisJeffery W. Butterbaugh
Codice Libristo: 02060485
Casa editrice Materials Research Society, novembre 2009
To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into convent... Descrizione completa
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To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into conventional Si CMOS processing at an unprecedented rate. Presentations collected here focus on understanding, from a chemistry and materials perspective, the mechanism of interface formation and defects at interfaces, for both conventional Si and alternative channel (Ge or III-V) systems. Several papers address reliability concerns for high-k/metal gate (basic physical models, charge trapping, etc.), while others cover characterization of the thin films and interfaces which comprise the gate stack. Topics include: advanced Si-based gate stacks; and alternate channel materials.

Attrice & Poliglotta
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Ewa Kasp
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Informazioni sul libro

Titolo completo CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - Rigido
Data di pubblicazione 2009
Numero di pagine 194
EAN 9781605111285
ISBN 1605111287
Codice Libristo 02060485
Peso 430
Dimensioni 160 x 236 x 14
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