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CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155

Lingua IngleseInglese
Libro In brossura
Libro CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155 Alexander A. Demkov
Codice Libristo: 02439020
Casa editrice Cambridge University Press, giugno 2014
To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into convent... Descrizione completa
? points 97 b
39.49 €
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To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into conventional Si CMOS processing at an unprecedented rate. Presentations collected here focus on understanding, from a chemistry and materials perspective, the mechanism of interface formation and defects at interfaces, for both conventional Si and alternative channel (Ge or III-V) systems. Several papers address reliability concerns for high-k/metal gate (basic physical models, charge trapping, etc.), while others cover characterization of the thin films and interfaces which comprise the gate stack. Topics include: advanced Si-based gate stacks; and alternate channel materials.

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Informazioni sul libro

Titolo completo CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155
Autore Alexander A. Demkov, Bill Taylor, H. Rusty Harris, Jeffery W. Butterbaugh
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - In brossura
Data di pubblicazione 2014
Numero di pagine 194
EAN 9781107408326
ISBN 1107408326
Codice Libristo 02439020
Casa editrice Cambridge University Press
Peso 27
Dimensioni 152 x 229 x 10

Categorie

Tecnologia, Ingegneria, Agricoltura, processi industriali > Ingegneria meccanica e dei materiali > Produzione e ingegneria industriale > Controllo della qualità industriale
Tecnologia, Ingegneria, Agricoltura, processi industriali > Ingegneria meccanica e dei materiali > Scienza dei materiali
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